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半导体晶圆激光切割划片晶态硅激光打孔刻槽改小加工

半导体晶圆激光切割划片晶态硅激光打孔刻槽改小加工

硅片晶圆激光切割打孔刻槽技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;不会损伤硅片结构。

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    北京 丰台区 北京市丰台区南三环西路88号花卉研究中心2102号
产品特性:切割精度高加工类型:激光切割工件材质:半导体材料
加工产品范围:硅片、晶圆、 铌酸锂晶片、砷化镓晶片打样周期:1-3天加工周期:4-7天
年最大加工能力:999999件年剩余加工能力:888888件切割材质:硅片、晶圆、 铌酸锂晶片、砷化镓晶片
加工精度:±20μm加工厚度:0.1-2.5mm加工幅面:350*300mm
加工地址:北京、天津服务范围:全国设备类型:皮秒、纳秒
型号:CN230215961

半导体晶圆激光切割划片晶态硅激光打孔刻槽改小加工详细介绍









激光切割硅片应用行业:

半导体集成电路,包括单双台面玻璃钝化二极管晶圆切割划片,单双台面可控硅晶圆切割划片,砷化镓,氮化镓,IC晶圆切割划片。

 硅片切割机又名硅片激光切割机,激光划片机。是激光划片机在 电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用。激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。因激光是经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。热影响极小,划精度高,广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。

激光划片机主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料划片和切割,可加工太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等,工件精细美观,切边光滑。采用连续泵浦声光调Q的Nd:YAG激光器作为工作光源,由计算机控制二维工作台,能按输入的图形做各种运动。输出功率大,划片精度高,速度快,可进行曲线及直线图形切割。

传统硅片切割方式是机械切割,速度慢、断面平整性差、碎片多、不环保。硅是一种脆性材料,机械切割极易使边缘产生破裂,造成硅表面弹性应变区、位错网络区和碎晶区的组成层损伤,甚至可能造成隐形裂纹,影响电性参数等危害。激光切割技术具有无接触、无机械应力、切缝宽度小、断面平整光滑、精度高、速度快、性能稳定等优势;不会损伤硅片结构,电性参数要优于传统的机械切割方式,可应用于大面积电池片进行划线切割,做到***控制切割精度及厚度,进一步减少切割碎屑,提高电池利用率。


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